半岛·综合体育全球EUV光刻专利哪家强？卡尔蔡司位居第一韩国媒体报道，近年来韩国企业及科研机构在EUV光刻工艺大举投入，专利技术上正在跟国外公司缩短差距。　　据报道，在2011到2020年的专利申请中，向韩国知识产权局（KIPO）提交的与...

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　半岛·综合体育下载大族激光官宣自研光刻机靠谱吗？目前处于什么水平？中美贸易战愈演愈烈，国内半导体领域的任何进展都会被格外关注。前几天，上海微电子自主研发的28nm工艺沉浸式光刻机，预计在2021年到2022年将交付第1台机器的消息，可以说...