半岛·综合体育(中国)官方网站AMSL正在研发第三款极紫外光刻机计划明年年中出货

　　半岛·综合体育(中国)官方网站AMSL正在研发第三款极紫外光刻机计划明年年中出货阿斯麦是在三季度的财报中，披露他们全新的极紫外光刻机计划在明年年中开始出货的，型号为TWINS

　　在财报中，阿斯麦表示他们已经敲定了TWINSCAN NXE:3600D的规格半岛·综合体育半岛·综合体育，其生产效率将提升18%，在30mJ/cm2的曝光速度下每小时可处理160片晶圆。

　　值得注意的是，在2019年的年报中，阿斯麦就曾披露他们在研发新一代的极紫外光刻机，不过当时并未披露具体的型号，他们在年报中披露的计划出货时间是2022年年初，2024或者2025年大规模生产。

　　三季度财报中披露在明年年中开始出货的TWINSCAN NXE:3600D，如果是他们在年报中提到的那一款，也就意味着出货时间较原计划提前了半年。

　　台积电、三星这两大芯片代工商的制程工艺都已提升到了7nm和5nm，他们所需要的极紫外光刻机也全部仰仗于阿斯麦半岛·综合体育，全新的TWINSCAN NXE:3600D的首台，预计也会交由这两家代工商中的一家。

　　阿斯麦目前在售的两款极紫外光刻机分别是TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C，采用的都是波长为13.5nm的极紫外光源，20mJ/cm2的曝光速度下，前者每小时可处理125片晶圆，后者则可达到170片。